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图像传感器
防反射膜用溅镀机
FC7100
HKMG(Gate First)用溅射设备
FC7100是逻辑IC工艺中Metal Gate（Gate First）用溅射设备。使用多年经验的斜角溅射配合基板旋转的技术达到0.1nm以下超薄膜的膜厚及均匀性的控制。双靶材同时溅射即可对应合金工艺亦可提高同金属的成膜速率。
参数
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公司名称：佳能光学设备（上海）有限公司
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